年泄漏率大的标准漏孔,要注意经常校准。如果发现异常,要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测,都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔,对温度特别敏感。温度每变化1℃,标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如,夏天,室温达到30℃,这种标准漏孔的漏率误差增加30%。
高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
氦质谱检漏仪的选择
选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题:
(1)仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能,就不适合吸法检漏;有些仪器没有报废漏率的设置功能,不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,此时应选择有多工位的检漏仪。
(2)仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。
(3)被检件如果害怕油的污染,就应选择无油真空系统的检漏仪。
(4)被检件容积如果较大,必须选用预抽泵抽速大的检漏仪,否则就要外加预抽泵。
(5)如果被检对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低,就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。
(6)如果检漏地点不固定,需要经常搬运仪器时,就要选择小型便携式仪器。
(7)在满足上述检漏基本要求的基础上,还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。
检漏仪内部泄漏
处理方法
不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法(见表1)。①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏,可先采用灌胶密封处理,若密封性仍不能满足要求,自动检漏仪,需从厂家购买新品进行更换。②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏,则对密封圈进行更换,并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净,且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气,会影响仪器本底)等密封添加剂。③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封,若有漏,更换密封圈即可。注意事项同上。④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封,该密封环节在检测时极易被忽视,此处若有漏可先进行灌胶处理,但探针间距很小,可操作空间有限,若灌胶后密封效果不佳,则从厂家购买新品进行更换。
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