高纯氧主要用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。工业氧的主要用于切割助燃；在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧，例如炼钢时除硫、磷等杂质，氧和乙炔混合气燃烧时温度高达3500℃，用于钢铁的焊接和切割。玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧。液氧还用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。
高纯氧一般采用电解氧为原料，经催化脱氢可制取纯度为99.99%以上的高纯氧。大部分工业氧都是由空气分离制造的，即将空气液化后经精馏提纯。也可采用低温全精馏法。
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