汇川 SV660 伺服驱动器报 Err22 一般为跟随误差超差故障，以下是可能的原因及排除方法1：
机械传动方面
机械卡滞：检查丝杠、导轨、联轴器等机械传动部件是否有异物卡住、润滑不良或损坏等情况。清理异物，对润滑不良的部件进行润滑，损坏的部件及时更换。
机械松动：查看电机与负载之间的连接是否松动，如联轴器的螺栓是否紧固。若有松动，重新紧固连接部件。
伺服电机方面
电机故障：检查电机绕组是否短路、断路，电机轴承是否损坏。用万用表测量电机绕组阻值，检查是否平衡，若有异常则需维修或更换电机；对于轴承损坏，可通过听电机运行声音或用手转动电机轴来判断，如有异常应更换轴承。
编码器问题：检查编码器连接是否松动、断线或损坏。确保编码器线缆连接牢固，无破损、断线情况，如有问题更换线缆；若编码器损坏，需更换编码器。
伺服驱动器方面
参数设置不当：检查位置环增益、速度环增益等参数设置是否合理。参数设置不合理可能导致系统响应不佳，出现跟随误差超差。可根据电机和负载特性，重新调整参数，一般可先适当降低位置环增益和速度环增益，观察故障是否改善，再逐步调整到合适的值。
驱动器故障：驱动器内部的电子元件如功率模块、电容、电阻等损坏，可能影响驱动器的正常输出和控制。可使用万用表、示波器等工具检测驱动器的输出电压、电流是否正常，检查内部元件是否有过热、烧焦等迹象。若有元件损坏，需更换损坏的元件或直接更换驱动器。
数控系统方面
指令输出异常：检查数控系统是否正常发出正确的位置指令，指令脉冲频率、数量是否正确。可通过观察数控系统的运行状态、检查相关参数设置来判断，如有问题，重新设置或调整数控系统的指令输出参数。
系统通信故障：数控系统与伺服驱动器之间的通信出现问题，可能导致指令传输错误或不及时。检查通信线缆是否连接良好，有无破损、断线，通信接口是否损坏。确保通信线缆连接正常，若接口损坏，需维修或更换接口。
